Auf Spurensuche

Evelin Fisslthaler, ZFE

Die Strukturen, mit denen Evelin Fisslthaler sich beschäftigt, sind winzig. Die Physikerin arbeitet seit 2009 als Senior Scientist für das ACR-Institut Zentrum für Elektronenmikroskopie Graz (ZFE) und ist Spezialistin für Nanoanalytik. In ihrem Projekt „Quantitative Analyse innerer Grenzflächen“ geht es um die atomar aufgelöste Analyse und Charakterisierung von Materialien an ihren Kontaktstellen zu anderen Materialien. Für die Leitung dieses Projektes wurde Fisslthaler im Oktober 2017 mit dem ACR Woman Award ausgezeichnet.

Evelin Fisslthaler gehört zu den wenigen Frauen, die einen naturwissenschaftlichen Beruf ausüben, dabei eine Führungsrolle haben und diese noch dazu in Teilzeit bewältigen. „Wenn die Rahmenbedingungen stimmen, ist alles möglich“, sagt die 40-jährige zweifache Mutter. Aufgewachsen in Salzburg, war für Evelin Fisslthaler immer klar, dass sie etwas Naturwissenschaftliches studieren will. Neugier und Entdeckergeist waren es, die sie schließlich zur Physik brachten. „Dieser unglaubliche Drang, herausfinden zu wollen, wie die Dinge funktionieren, ist wahrscheinlich allen Physikern gemein“, sagt Fisslthaler, die sich recht bald für ein Studium an einer technischen Universität entschied. „Mir schien die Technische Physik praxisnäher zu sein, ein Feld, wo man mehr ausprobieren und experimentieren kann.“

Fisslthaler studierte an der TU Graz, wo sie auch promovierte. Bereits in ihrer Dissertation ging es um Nanostrukturen, um jene von Polymeren. Sie arbeitete zunächst am Institut für Festkörperphysik der TU Graz und am NanoTechCenter Weiz, bevor sie 2009 als Senior Scientist zum ZFE wechselte. 2013 kam ihr erster Sohn zur Welt. Evelin Fisslthaler kehrte an das ZFE zurück, als ihr Sohn 14 Monate alt war. Für 24 Stunden in der Woche. „Es funktioniert“, sagt Fisslthaler. „Teilzeit“, so meint sie, „bedeutet oft, ständig wechselnde Aufgaben zu haben, mal hier, mal dort etwas zu machen. Das ist am ZFE anders: Hier wird es einem ermöglicht, auch in Teilzeit ein Projekt zu leiten, sich wissenschaftlich weiter zu entwickeln. Es ist nur eine Frage der Aufteilung der Aufgaben und des Vertrauens.“

Durch Atomlagen hindurch
Das Projekt „Quantitative Analyse von inneren Grenzflächen“ wurde von fünf Unternehmen aus der Mikroelektronikbranche gemeinsam mit dem ZFE entwickelt, die verschiedene Fragestellungen in Bezug auf die Eigenschaften der Grenzflächen zwischen den verschiedenen Elementen in einem elektronischen Bauteil hatten. Untersuchen lässt sich das nur mithilfe der Transmissionselektronenmikroskopie (TEM), einer mikroskopischen Technik, die es ermöglicht, gewissermaßen „durch“ Atomlagen hindurch zu sehen und damit eine hochauflösende Analyse von Nanostrukturen erlaubt.

Ein Thema von Evelin Fisslthaler in dem Projekt waren unter anderem so genannte Dotierstoffe. Das sind chemische Elemente, die in der Herstellung von Wafern oder Computerchips gezielt eingesetzt werden, um die Eigenschaften der Halbleiterkristalle, zum Beispiel von Silizium, zu verändern. Fisslthaler hat sich unter anderem näher mit der Anlagerung von Stickstoffatomen beschäftigt, die zum Beispiel als Passivierungsschicht in die Grenzschicht eines Bauteils eingebracht werden. Der Effekt ist gewünscht, allerdings war vor Fisslthalers Arbeiten nicht klar, ob er tatsächlich auf Stickstoff zurückzuführen ist und wo sich Stickstoff in welchen Mengen ansammelt. Lokalisation und Menge sind entscheidend für die Eigenschaften eines Bauteils.

Evelin Fisslthaler gelang es in dem Projekt, an dem insgesamt sechs MitarbeiterInnen beteiligt waren, die methodische Expertise des ZFE hinsichtlich der quantitativen Analyse mittels Transmissionselektronenmikroskopie zu erweitern. „Wir können nun exakt bestimmen, welche Mengen von welchem Material an welchen Stellen im Bauteil auftreten“, sagt Fisslthaler. „Das war herausfordernd, aber Herausforderungen sind wichtig, damit man mit ihnen mitwachsen kann.“
Das Projekt zur „Quantitativen Analyse innerer Grenzflächen“ hat Evelin Fisslthaler im Oktober abgeschlossen. Inzwischen wurde ihr zweiter Sohn geboren  und für sie ist klar, dass sie wieder an das ZFE zurückkehren will: „Zu entdecken und zu verstehen gibt es noch genug.“

Hier geht es zum Woman Award Video

www.felmi-zfe.at

Fotos

  • Das Spezialgebiet der Physikerin Evelin Fisslthaler ist die Nanoanalytik. Sie beschäftigt sich mit Grenzflächen in elektronischen Bauteilen. Foto: ZFE
  • In Teamarbeit gelang es Evelin Fisslthaler, die methodische Expertise des ZFE hinsichtlich der quantitativen Analyse mit Transmissionselektronenmikroskopie zu erweitern. Foto: ZFE
  • Atomar aufgelöste Aufnahme der Grenzfläche zwischen Silizium und Germanium. Foto: ZFE